真空镀膜_真空镀膜机操作流程

一、前期准备

在进行镀膜工作之前，首先要确保工作环境整洁无尘，为镀膜工艺奠定优质基础。接下来，需全面检查设备状态，确认水泵、气源及冷却水系统正常运行，并将各控制开关置于“关闭”状态。准备好必要的材料，如固定钨螺旋加热子或蒸发舟，并将基材稳稳地固定在转动圆盘上。

二、抽真空流程详解

启动镀膜之旅的第一步是开启总电源和维持泵。随后，启动机械泵进行预抽真空，将真空计档位调至V1，并耐心等待数值降至＜10（大约5分钟）。接着，切换至涡轮分子泵，继续抽真空至＜2（约20分钟）。当分子泵的读数＞250时，需依次关闭预抽阀，开启前级泵和高真空阀。待真空度达到2×10⁻³Pa后，方可启动电子枪电源，进入下一步的镀膜操作。

三、镀膜操作要点

在镀膜操作中，根据工艺需求选择适当的蒸镀方式，如热电阻蒸镀和电子束蒸镀。热电阻蒸镀通过加热蒸发舟使原料融化蒸发；电子束蒸镀则利用水冷坩埚进行加热。在蒸镀过程中，要精确控制各项参数，如蒸发源功率、气体流量等，并密切关注真空度、温度等关键指标。

四、设备关闭与清理

镀膜完成后，需按照正确的顺序关闭设备。首先关闭高真空表头和分子泵电源，然后等待分子泵显示＜50后，依次关闭前级泵、机械泵（约40分钟）。关闭维持泵和总电源。务必清理钟罩内部，归位工具，保持设备的整洁。

注意事项：

1. 镀膜过程中需确保真空环境的连续性，避免中途破真空影响镀膜质量。

2. 定期清洁工作室，不仅有助于维持设备的良好运行状态，还能延长设备的使用寿命。

3. 不同型号的设备在操作细节上可能存在差异，使用前请详细阅读设备操作手册。