氦气测漏仪 氦气测漏仪工作原理

气测漏仪，也称为氦质谱检漏仪，是一种利用氦气示踪技术和质谱分析原理的高灵敏度泄漏检测设备。它具备卓越的性能和可靠性，广泛应用于各种行业中的泄漏检测任务。接下来，我们将详细其核心工作原理和特性。

一、氦气示踪技术的独特优势

氦气作为示踪气体，在检漏过程中发挥着至关重要的作用。其优势主要体现在以下几个方面：

1. 物理特性：氦气因其分子量小（仅为4amu）粘滞系数低，能够轻松通过微小的漏孔并迅速扩散。

2. 化学惰性：氦气不会与其他物质发生反应，从而避免了腐蚀设备或干扰检测结果的风险。

3. 本底噪声低：空气中的氦气浓度极低（约5ppm），这有助于降低误检率，提高检测的准确性。

二、检测流程与原理详解

气测漏仪的检测流程精密且高效，主要步骤如下：

1. 氦气引入：将被测设备充入氦气（或通过外部喷洒方式），若设备存在泄漏，氦气将通过漏孔进入检漏仪的真空系统。

2. 电离与质谱分析：在这一阶段，氦分子在电离室被电子轰击电离为He⁺离子。这些离子经过加速电场进入磁场，受洛伦兹力偏转。其中，M/Z=4的氦离子会遵循特定的轨道半径公式，通过特定路径到达接收极。

3. 信号检测：氦离子被探测器捕获，信号强度与泄漏率成正比。气测漏仪的灵敏度极高，可达10⁻¹² Pa·m³/s，能够检测极其微小的泄漏。

三、技术变体与辅助设计

气测漏仪的技术不断发展和完善，出现了一些技术变体和辅助设计：

1. 热导式检测：部分设备利用氦气与其他气体的热导率差异进行初步筛查，提高检测效率。

2. 负压增强：通过真空泵创造负压环境，以提升氦气的捕捉效率，进一步改善检测结果。

四、典型应用场景展示

气测漏仪广泛应用于各种行业和领域。例如：

1. 真空设备：如半导体镀膜机、液晶注入设备等，用于防止空气渗入导致工艺失效。

2. 压力容器：如气瓶、制冷系统等，气测漏仪可用于检测其密封性，避免介质泄漏引发事故。

气测漏仪是一种高性能的泄漏检测设备，其核心工作原理基于氦气示踪技术和质谱分析原理。其独特的技术优势和丰富的应用场景使它在各个领域发挥着重要作用。如需更详细的设备操作指南或不同型号对比信息，请进一步与我们联系。